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KS-C300
12寸集束型涂胶显影机

KS-C300涂胶显影机可用于高端封装、 MEMS、OLED等领域的涂覆显影制程,每小时可加工120片晶片,同时产品可兼容不同材质的晶片如硅、玻璃片、键合片、化合物等。产品可应用于逻辑类、存储类芯片、摄像头芯片、功率器件芯片、OLED制造等领域。高端国产化集成电路设备的成功应用为客户节约了大量成本。产品通过SEMI S2认证。
产品优势:
  • 1.适合超薄晶圆处理,超厚胶涂敷、显影、烘焙工艺

    2.涂胶单元特殊设计,避免高黏度胶离心涂敷时产生的“棉花糖”现象

    3.机台为全封闭模块化结构,工艺单元灵活选配

    4.占地面积小,产能高

    5.工艺上可实现5mm以下晶圆翘曲片的传送加工,热板采用渐进式烘焙

  • 6.可满足工厂自动化需求,无人值守

  • 应用领域:

    ●高端封装

    ●OLED 领域

    ●MEMS