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KS-CF300/200-8SR
全自动SCRUBBER清洗机

清洗机可以用于对晶圆表面,背面及晶圆边缘的清洗,通过创新研发的二流体喷嘴技术可将附着在晶圆表面的细微颗粒污染物去除,实现高效去除。通过大量仿真与工艺试验相结合,优化出最佳的清洗工艺参数,确保不损伤晶圆表面的图形;对于微米级别大颗粒,采用特殊材料的毛刷或高压喷淋对晶圆进行擦洗去除。配合特有的晶圆翻转装置和夹持式承片台,可在同一台设备中实现对晶圆的正反两面进行清洗。
产品优势:

1. 机台可采用防静电管路,防止水中静电荷到达晶圆表面,

   对图形造成破坏
2. 翻转单元接触点少,减小了与晶圆的接触面积
3. 所有表都为数字显示,数据上传工控机方便追溯
4. 机台优化传输路径,产能大幅提升
5. 软件客制化,界面友好,可按照客户要求更改
6. 更高效的FFU
7. 售后服务:响应快,当地驻厂服务(7X24小时)
8. 支持工厂自动化
应用领域:

●晶片炉管前后清洗

●化学气相沉积(CVD)前后的清洗

●物理气相沉积(PVD)前后的清洗

●化学机械抛光(CMP)前后的清洗,前后段干法刻蚀后的清洗

特殊工艺要求晶圆背部及晶圆边缘的清洗